去离子水是指 去除了呈离子形式杂质后的纯水。它通过离子交换树脂处理方法或RO反渗透方法制取，完全或不完全地去除水中的离子物质。去离子水在半导体行业中被称为“超纯水”或“18兆欧水”，因其极高的纯度而广泛应用于电子、电力、化工、医药等领域。